ウルトラクリーンプロセスと微細構造制御

まてりあ

Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
ISSN-L : 1340-2625

ウルトラクリーンプロセスと微細構造制御

薄膜媒体並びに薄膜ヘッド材料を例として

高橋研

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ジャーナルフリー

1998 年 37 巻 10 号 p. 865-872

DOI https://doi.org/10.2320/materia.37.865

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