超高純度ガス供給用100%Cr<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>被覆ステンレス配管「スミクリーンF」の開発

まてりあ

Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
ISSN-L : 1340-2625

超高純度ガス供給用100%Cr₂O₃被覆ステンレス配管「スミクリーンF」の開発

東茂樹, 寺西洋志, 岡本弘, 丁場源, 大見忠弘

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ジャーナルフリー

1999 年 38 巻 1 号 p. 61-63

DOI https://doi.org/10.2320/materia.38.61

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