まてりあ
Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
ISSN-L : 1340-2625
Cu (Ti) 合金微細配線における極薄バリア層の自己組織形成
着本 享, 大西 隆, 伊藤 和博, 村上 正紀, 今野 充, 矢口 紀恵, 上野 武夫
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2006 年 45 巻 12 号 p. 879

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