まてりあ
Online ISSN : 1884-5843
Print ISSN : 1340-2625
イオン注入法を用いた歪み緩和SiGe薄膜の作製と応用
澤野 憲太郎, 白木 靖寛, 中川 清和
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47 巻 (2008) 4 号 p. 209-215

DOI https://doi.org/10.2320/materia.47.209
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