気相反応法による炭化ジルコニウムの結晶成長

抄録

ZrCl4-H₂-CH,系からの炭化ジルコニウム(ZrC)の結晶成長を900～1500℃で行ない,反応条件が結晶の成長速度および形態におよぼす影響を調べた。そして,つぎの結果を得た。黒鉛基板上ではコーティングしか得られなかった。ムライト管上では約1000℃からコーティングが生じ,1200。C以上でo.5～30μの径をもつウィスか-の成長が認められた。ウィスカー成長には[zrC嬉/こCH4]比が1近くがよい。ウィスカーの成長速度は四壌化ジルコニウムおよびメタン濃度に対して極大を示した。また,成長速度は水素濃度の減少とともに減少した。実測された軸方向の最大成長速度は～3,8×10-scm/secで,半径方向の成長速度は軸方向の約1/700であった。炭化ジルコニウムウィスカーは正方形の断面をもち,その成長方向は[100]方向で,側面は{110}面であった。