2,3-エピチオプロピルメタクリラートを含む共重合体の電子線レジスト特性

抄録

2,3一エピチォプロピルメタクリラート(ETMA)とスチレン誘導体との共重合体を合成し,それらの共重合体の電子線レジスト特性を検討した。スチレン誘導体としては,p-クロロスチレン(pCS),m-クロロスチレン(mCS)および(クロロメチル)スチレン(CMS)を使用した。ETMAとこれらのモノマーからの共重合体はベンゼン中での溶液重合により製造した。これらの共重合体を溶解-沈殿法により分別し,分子量の異なるものを得た。電子線レジスト特性として次のことが見いだされた。共重合体の感度は,分子量および共重合体中のETMAの増加とともに向上した。コソトラストは0分子量および分散度の小さいものほど高い値を示した。ETMA-pCS共重合体は,ETMA-mCS共重合体にくらべ感度はやや低いが,コントラストはわずかに高い値を示した。ETMA-CMS共重合体は,上の二つの共重合体にくらべ,感度は高いものの,不安定なポリマーであった。ETMA-pCS共重合体は,PETMAより耐ドライエッチング性が向上した。解像度はETMA-pCSおよびETMA-mCS共重合体で,それぞれ0.6μmおよび0.45μmであった。