東京大学 生産技術研究所
2009 年 78 巻 9 号 p. 903-907
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真空は，最先端の科学研究・技術開発から，われわれの身近なところまで，さまざまな分野で利用されている．真空を特徴づける圧力，真空を理解するうえで欠かせない分子の平均自由行程や入射頻度，さらに真空を作るために必要となる気体の流量，コンダクタンス，排気速度などの概念について解説する．
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