応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
解説
ナノ構造技術
荻野 俊郎山田 明高橋 琢二須原 理彦佐野 芳明重川 秀実本間 芳和森田 清三中嶋 健松本 和彦落合 幸徳大野 雄高粟野 祐二石橋 幸治篠塚 雄三村上 浩一前田 康二上田 修伊東 千尋徳光 永輔荒川 太郎小林 慶裕佐藤 信太郎赤澤 方省松井 真二渡辺 精一奥野 恒久尾崎 信彦
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2010 年 79 巻 8 号 p. 729-731

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抄録

ナノ構造技術,ナノテクノロジーは,物質をナノメートルスケール(10-9 m)で制御して発現する多彩な機能とその応用を取り扱う分野で,物質開発とデバイス作製に関する究極のテクノロジーであり,新しいサイエンスを生み出す場でもある.本稿では,2010年3月に応用物理学会が作成したアカデミック・ロードマップおよび発展史マップに基づき,ナノ構造技術における将来ビジョンを同分野の発展史も含めながら概観する.ナノ構造技術の将来ビジョンのメインマップでは,①デバイス・プロセス,②ナノ計測,③ナノ材料の3分野に分けてその将来展望を記述している.またメインマップに加えて,それぞれの分野に対応して,「ナノ構造技術の発展」,「ナノ構造作製・評価技術(SPM)の発展」,「カーボンナノチューブ技術の発展」と題する3枚のサブマップを作成している.本稿ではこれらの分野の展望を簡単に述べる.

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© 2010 公益社団法人応用物理学会
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