応用物理
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Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
走査電子顕微鏡の最先端応用例―FIB-SEM複合装置を用いた3次元構造解析
森川 晃成
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2012 年 81 巻 6 号 p. 512-515

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抄録

走査電子顕微鏡(SEM)に集束イオンビーム加工観察装置(FIB)を複合化することにより,SEMの情報量が飛躍的に拡大する.その最先端応用が試料内部の3次元構造解析である.これは,FIBによる微小部の加工と加工面のSEM観察を交互に繰り返して達成される.本稿では,3次元再構築の手法と応用例について紹介する.

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© 2012 公益社団法人応用物理学会
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