走査電子顕微鏡の最先端応用例―FIB-SEM複合装置を用いた3次元構造解析

抄録

走査電子顕微鏡（SEM）に集束イオンビーム加工観察装置（FIB）を複合化することにより，SEMの情報量が飛躍的に拡大する．その最先端応用が試料内部の3次元構造解析である．これは，FIBによる微小部の加工と加工面のSEM観察を交互に繰り返して達成される．本稿では，3次元再構築の手法と応用例について紹介する．