応用物理
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Print ISSN : 0369-8009
編集講座
電気計測(高周波測定)のコツ
藤島 実天川 修平
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2015 年 84 巻 5 号 p. 453-457

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抄録

高周波で集積回路を設計するために,回路設計者が回路シミュレーション用デバイスモデルから作らなければならないことがあります.しかし,モデルを作るのに必要となる正確なデバイス評価結果を得ることは,高周波においては容易ではありません.本稿では,ウェーハ上のデバイスの高周波電気測定と,測定結果からほしいデバイスの特性だけを取り出すディエンベディングの2工程で必要となる「針を下ろす」と「配線を測る」を取り上げ,どのようにして高周波で正確な測定結果を導くのかについて紹介します.また,Sパラメータ測定の特異性と測定基準確保の難しさにも触れます.

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© 2015 公益社団法人応用物理学会
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