応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
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レーザー光を利用した気相からの高速結晶成長
伊藤 暁彦
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2016 年 85 巻 7 号 p. 590-594

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抄録

一般に,レーザー光を用いた材料の合成では,パルスレーザーを集光して局所的に大きなエネルギーを得る.これに対して,連続発振レーザーを広げて用いることで,大きな領域に活性な化学気相成長場を作り出すことができる.気相からの自己配向成長や自己組織化の技術は,実用工業材料に新たな価値を見いだすものである.本稿では,レーザー光を利用した実用セラミックス材料の化学気相成長法(CVD)を紹介し,電子顕微鏡を通して気相からの高速結晶成長を観察する.

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© 2016 公益社団法人応用物理学会
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