研究紹介
ミラー電子顕微鏡による微小欠陥検出
2018 年 87 巻 7 号 p. 525-529
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2018 年 87 巻 7 号 p. 525-529
ミラー電子顕微鏡の歴史は古く，最初の報告は1935年に遡る．その特異な電子像形成原理は，得られた電子像の解釈を極めて困難にするため，試料表面の未知の情報を得るための顕微鏡技術としては，全くといってよいほど普及しなかった．しかしながら，工業利用される材料などの既知試料表面に存在する異常，すなわち欠陥を見つける技術としてミラー電子顕微鏡を捉えた場合，この像形成原理が高感度の欠陥検出を可能にする．本稿では，ミラー電子顕微鏡の結像原理と装置，および各種欠陥検出への応用事例について紹介する．
