応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
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オペランド・ナノX線分光で明らかにする2次元デバイスの表面界面物性と機能発現
吹留 博一
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2020 年 89 巻 9 号 p. 529-533

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抄録

未知なる感染症および地球環境に関わる諸問題解決と活発な経済活動の両立が,喫緊の課題となっている.その実現には,低環境負荷物質を用いた超高速通信デバイスが不可欠である.その有望候補が,グラフェンをはじめとする2次元原子薄膜(2DM)デバイスである.しかし,表面界面に対する2DM物性の高い敏感性に起因して,2DMデバイス機能の実測値は,物性値から予測される理論値を大きく下回る.そこで,筆者らは,グラフェン・トランジスタをモデル試料として,「動作しているデバイスの表面界面物性を元素選択的にナノスケールで診る」オペランド・ナノX線分光(o-nXS)を開拓し,さらには,ほかの2DMデバイスや界面2次元電子系デバイスの産官学連携研究を展開した.現在,筆者は,o-nXSをナノ表面界面物性を定量可視化してデバイス・回路の機能へ写像し,機能を極限まで引き出す設計に資するものとすべく取り組んでいる.

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© 2020 公益社団法人応用物理学会
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