応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
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軽元素深さ分析のためのTOF-ERDA測定装置の開発と応用
安田 啓介鈴木 耕拓
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2021 年 90 巻 4 号 p. 234-238

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抄録

飛行時間測定弾性反跳粒子検出法(TOF-ERDA)はイオンビームを用いた分析手法の1つで,エネルギーが数~数十MeVのイオンビームを試料に照射し,反跳された試料内原子のエネルギーと飛行時間を同時に測定する.軽元素から重元素までの幅広い範囲の元素を元素分離して,かつ優れた深さ分解能で分析することが可能で,特に薄膜中の軽元素の分析に威力を発揮する.本稿では,我々が開発したTOF-ERDA装置と,その性能を評価した結果について述べる.また,リチウムイオン2次電池電極,および酸化チタン薄膜を評価した例を紹介する.

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© 2021 公益社団法人応用物理学会
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