応用物理
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Print ISSN : 0369-8009
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高分解能ラザフォード後方散乱分光法によるガラスおよびイオン液体の表面分析
中嶋 薫
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2022 年 91 巻 5 号 p. 260-265

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抄録

高分解能ラザフォード後方散乱分光法(HR-RBS)は試料表面近傍の元素組成を高い定量性で測定できる分析法である.非破壊でサブナノメートルの高い深さ分解能で深さ方向分析が可能である.本稿では,筆者の研究室で開発したHR-RBS装置の概要を略述し,HR-RBSの特徴を解説する.またHR-RBSを用いて,従来のイオン散乱分光で分析が難しいとされていた絶縁物,液体(イオン液体)を分析した最近の結果を紹介する.

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© 2022 公益社団法人応用物理学会
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