基礎講座
実験室光源を用いた次世代の光電子分光測定
2022 年 91 巻 9 号 p. 568-572
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2022 年 91 巻 9 号 p. 568-572
光電子分光法は物質の電子状態を直接観測する実験手法です．特に，硬X線光電子分光法（Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy: HAXPES）を用いると，電子デバイスの内部を非破壊で化学結合状態の分析ができます．近年，光源や光電子分析器の開発の進展により，実験室でのHAXPES測定が可能になりました．本稿では，光電子分光法の基礎原理に加えて，Ga線源を用いた実験室系HAXPES装置を用いた深さ分解測定や，データサイエンスを用いた深さ分布の解析手法について紹介します．
