Sicのエピタキシャル成長と固体素子への応用
ジャーナル
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1979 年
48 巻
6 号
p. 565-571
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-
発行日: 1979/06/10
受付日: -
J-STAGE公開日: 2009/02/09
受理日: 1979/01/28
早期公開日: -
改訂日: -
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