格子欠陥と結晶工学—半導体素子技術とある学問のかかわり—

抄録

半導体素子技術においては,素子製造プロセス中に起こる格子欠陥の発生や塑性変形が重要な問題である,格子欠陥や塑性変形を扱う学問に転位論がある.素子技術と転位論のかかわりを具体例について述べる.