電子回路の小型化に端を発し,複合構造の素子から発展した集積回路は,分離技術によって長足の進歩を遂げた.さらに集積回路は,電子回路やシステムの動作速度の向上という技術的要求のほかに,単位機能当たりの価格の低減という経済的理由から大規模集積化が促進された.一方,バイポーラ集積回路においてもI2L (lntegrated Injection Logic) のような新しい複合構造の研究・開発が行なわれ,さらに電子ビーム・リソグラフィーやプラズマエッチング等を用いた微細加工技術の重要性が増大した。今後設計やプロセス制御等,種々の面での計算機の導入や, GaAs, InP, ジョセフソン集積回路も重要になると考えられる.
