イオンビームを用いる軽元素の深さ分析
1982 年 51 巻 9 号 p. 1047-1053
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1982 年 51 巻 9 号 p. 1047-1053
イオンビームを使う分析技術は,物質中でのイオンの飛程が制限されることにより,分析できる深さが表面から20μm程度に限られるものの,固体の表面構造を研究するため,あるいは表面近傍の化学組成を分析するための強力な手段となっている.本稿では,重元素母材料中の軽元素の深さ分布を分析する場合を中心として,比較的最近開発されたいくつかのエネルギー計測に基づく分析手法の原理,解析方法,深さ分解能や感度等の特徴および実際の測定例について述べる.
