蒸着膜形成・結晶成長技術としてのイオンビームテクノロジー
ジャーナル
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1982 年
51 巻
9 号
p. 1070-1071
詳細
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発行日: 1982/09/10
受付日: -
J-STAGE公開日: 2009/02/09
受理日: 1982/05/18
早期公開日: -
改訂日: -
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