電子技術総合研究所
1983 年 52 巻 9 号 p. 749-753
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高繰り返し大出力放電励起ヱキシマーレーザーの研究を中心に,最近のエキシマーレーザーの大出力化,高繰り返し化,長寿命化技術の研究開発の現状を述べる.また,エキシマーレーザーを利用した,半導体の表面処理・加工や,材料の精製・合成など,プロセス技術への応用研究についても紹介する.
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