低温走査型電子顕微鏡の極低温エレクトロニクスへの応用
1985 年 54 巻 7 号 p. 660-666
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1985 年 54 巻 7 号 p. 660-666
低温 (1.5～4.2K) に冷却された薄膜超伝導体やジョセフソン素子などの試料における電気的特性などの空間構造を, 1μmに近い空間分解能で観測することを可能にした,低温走査は型電子顕微鏡の原理,および構造について述べる.超伝導トンネル接合における最大ジョセフソン電流,エネルギーギャップ,トンネル障壁電気伝導度などの空間構造の観測,および超伝導薄膜ブリッジ素子における高温点(ホットスポット)の直接観測への低温走査型電子顕微鏡の応用例を紹介する.
