応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
ポリシラン合金
古川 昌司松本 信雄
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1986 年 55 巻 11 号 p. 1080-1083

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抄録

ポリシラン合金とは,ポリエチレンに相当するシリコンの一次元鎖を多量に含む二元Si:R合金を指す.本稿では,気相成長法により作製されたポリシラン合金の構造と物性について,同じ二元Si:H合金でありながら性質を全く異にする,水素化非晶質シリコンと比較しながら論ずる.

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© 社団法人 応用物理学会
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