超高分解能走査電子顕微鏡
1986 年 55 巻 12 号 p. 1153-1156
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1986 年 55 巻 12 号 p. 1153-1156
超高分解能走査電子顕微鏡を開発した.本装置の特徴は電界放射型電子銃と強励磁対物レンズを併用していることで,分解能は生物組織に蒸着した白金粒子において加速電圧30kVで0.5nm (ダークスペース方式で)をしめした.
このような分解能の改善により走査電子顕微鏡は今後DNA,酵素などの巨大分子の観察に,また新素材,半導体方面などの研究において大きな威力を発揮するものと考えられる.
