応用物理
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含浸電極型液体金属イオン源
石川 順三
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1986 年 55 巻 12 号 p. 1162-1166

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抄録

タングステンのような耐熱金属粉を焼結し,多孔質としたチップ構造を持つ含浸電極型液体金属イオン源は,従来のニードル型の欠点を補う種々の特長を持っている.多孔質構造により液体の流量が積極的に制御できるため,高輝度の微少電流動作はもちろん,200~400μA の大電流でも安定に動作できる.また,液体金属の導入経路における金属原子蒸発量が少ないので,ニードル型に比べて,融点における蒸気圧が2~3桁高い金属でもイオン化できる.利用できるイオン種が多く,電流も多量に得られることから,イオンビーム輸送系をうまく設計すると,集束イオンビーム装置のみならず,汎用性のある金属イオン源としても利用価値がある.

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© 社団法人 応用物理学会
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