半導体集積回路の多機能化はどこまで進むか
光と電子の集積化による多機能化
1986 年 55 巻 4 号 p. 360-364
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1986 年 55 巻 4 号 p. 360-364
将来機能の異なる素子の集積化がどう進むかの考察を試みた.集積化の動機は,技術的可能性よりは,集積化の実用価値にある.半導体光素子と電子素子を集積した光電子集積回路は,光通信や電子装置にとっていろいろの利用価値があり,将来大きい発展が予想される.コンパクトディスク用の光学ヘッドなどは,半導体と類似の技術によって,集積化が可能であり,既に開発が進んでいる.これらの機能集積に必要な,各種半導体相互間,または半導体と誘電体など異種材料の一体集積化の技術について考察する.
