レーザープラズマX線の特性とX線リソグラフィーへの応用
1987 年 56 巻 1 号 p. 2-18
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1987 年 56 巻 1 号 p. 2-18
レーザープラズマX線の輻射スペクトル, X線変換効率の最近の研究成果を報告する.波長0.5μm以下の高出力バルスレーザー光を用いることにより10%以上の変換効率が得られることが示される.レーザープラズマX線を用いたX線リソグラフィー実験の成果を紹介しつつ,実用的X線リソグラフィー露光システムの像を明らかにする.その他の重要な応用として,軟X線顕微鏡およびEXAFS用光源への応用について述べる.
