応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
シリコン (111) 表面の7×7再配列構造
超高真空電子顕微鏡による解析
高柳 邦夫
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1987 年 56 巻 1 号 p. 45-50

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抄録

超高真空電子顕微鏡による透過電子線回折法を用いて,シリコン (111) 表面の7×7再配列構造の原子配列を解析した.この表面構造はdimer adatom stacking-faultより構成されるのでDASモデルと呼ぶが,最近,走査トンネル顕微鏡,イオン散乱法,X線回折法などの方法によっても支持を得てきた.透過電子線回折法とDAS構造について紹介する.

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© 社団法人 応用物理学会
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