クロム酸鉛系厚膜素子の感湿特性
1987 年 56 巻 5 号 p. 615-619
詳細
1987 年 56 巻 5 号 p. 615-619
製造の管理,倉庫の管理,健康の管理などの湿度雰囲気制御の向上を目的として,高精度,高信頼性の湿度センサーが求められている.これらの要望にこたえる新しい金属酸化物系湿度センサーの素材として,クロム酸鉛を紹介する.クロム酸鉛は,製造が容易である,特牲の制御をしやすいといった特長を有する.クロム酸鉛を主成分として取り扱うことにより,目的に応じた特性をもつ,高精度,高信頼性の湿度センサーを作製できる可能性がある,ここではクロム酸鉛系厚膜素子の作製方法,組み合わせ酸化物の効果,金属酸化物の添加効果などを述べ,クロム酸鉛の感湿素子材としての有用性について解説する.
