電子技術総合研究所
1987 年 56 巻 9 号 p. 1126-1137
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走査型トンネル顕微鏡は,固体表面の個々の原子を識別することができる新しい手法であり, 1986年のノーベル物理学賞の対象となったものである.その原理,装置技術や応用についての現状を紹介し,今後の課題や発展の方向について述べる.
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