偏光解析法と極薄膜の測定における問題点
1988 年 57 巻 12 号 p. 1868-1876
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1988 年 57 巻 12 号 p. 1868-1876
偏光解析法は表面で光が反射される際の偏光状態の変化を計測し,表面の光学定数を求める方法で,大変感度の良い測定法である,しかし,薄膜の光学定数の解析において,膜が薄い場合にはその屈析率を単独に決定することが困難となる.また極薄膜では膜表面や下地のroughnessの影響を受けやすく,入射角の誤差による影響も受けやすい.
備光解析法は表面の状態に敏感で大変高感度な測定法であるが,必ずしも高精度とは言いがたい.高精度の測定を行うには装置を精密に調整し,試料衷面に対する測定精度が最良となるように測定パラメーターの調整を工夫する必要がある.
