応用物理
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微小角入射X線回折法による界面超構造の観測
秋本 晃一水木 純一郎廣沢 一郎松井 純爾
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1989 年 58 巻 1 号 p. 66-71

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抄録

半導体界面は,実際の半導体デバイスrはよく科用されるにもかかわらず,界面の原子レベルでの構造については,測定手段が少ないこともあって,あまりわかっていない.そのため,界面の原子構造と界面の電気的,光学的性質との対応については,ほとんど理解されていない.ここでは,シンクロトロン放射光を用いたX線回折法により,半導体の種々の界面に存在する超構造(界面超構造)について研究した実験結果について紹介する.これは,非常に強力なX線であるシンクロトロン放射光を用いることにより,はじめて可能になった研究である.

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© 社団法人 応用物理学会
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