電子サイクロトロン共鳴プラズマにおける電子温度 白井氏のコメントに対する回答

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

電子サイクロトロン共鳴プラズマにおける電子温度

白井氏のコメントに対する回答

松岡茂登

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ジャーナルフリー

1989 年 58 巻 11 号 p. 1641-1644

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抄録

プロセス用ECRプラズマに関する記事 (応冷物理 57 (1988) 1301) に対する白井氏の解釈,およびコメントに対して,いくつかのデータを補充しっつ回答する.

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