超精密加工技術と短波長光学部品への応用
1989 年 58 巻 6 号 p. 842-858
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1989 年 58 巻 6 号 p. 842-858
原子・分子の大きさを問題にしたサブナノメーターオーダーの高い精度を要求した究極の超精密加工技術が展開しつつある.超精密加工技術は加工対象の大小により,極微細加工技術と超高精度加工技術とに分類できる.ここでは,その両面が同時に求められる加工対象として,短波長光学部品,特にX線用光学部品(斜入射ミラー・多層膜ミラー・フレネルゾーンプレート)の最近の進歩と今後の課題について紹介する.
