応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
高分解能電子線ホログラフィーのシミュレーション
丹司 敬義矢田 慶治
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1990 年 59 巻 1 号 p. 18-26

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抄録

電子線ホログラフィーは,透過型電子顕微鏡の一層の高分解能化にきわめて有力な手段であると考えられる.そのために解決されなければならないいくつかの問題点の一つに電子レンズの収差の補正方法の確立がある.この点を中心に,ここでは,電子線ホログラフィーの原理と数式的な取り扱い方を述べた後,結晶表面の再配列構造などの高分解能観察の可能性を検討するため,ホログラムの形成と再生を計算機でシミュレートした結果を紹介する.

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© 社団法人 応用物理学会
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