松下電器産業株式会社ディスプレイ研究所
1990 年 59 巻 10 号 p. 1294-1305
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液晶ディスプレイへの応用の観点から,非晶質シリコン薄膜トランジスタの研究開発の経緯を振り返る.次にその構造と作成プロセス,特性と信頼性については,新しい話題も織り混ぜて解説し,応用事例を述べたあと,今後の研究開発の方向を展望する.
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