応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
金属および半導体表面上の水素の検知と脱離
上田 一之
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1990 年 59 巻 12 号 p. 1593-1603

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抄録

固体表面と水素の相互作用の研究が盛んになっているなかで,現在もっとも手軽に水素を検知できて,他の分析機器との組み合わせに適している電子励起イオン脱離法 (ESD) が注目を集めている.まずはじめに,水素吸着後の固体の性質の変化を電子状態や振動スペクトルの測定にもとついて行った研究を紹介し,直接水素を検知できるESDとの対応関係を述べつつ,今後ESDが水素との相互作用の研究手段として果たすべき役割について述べる.

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© 社団法人 応用物理学会
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