ZnO単結晶膜の気相成長
1990 年 59 巻 8 号 p. 1027-1037
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1990 年 59 巻 8 号 p. 1027-1037
ZnOは,古くから私たちの生活の中に広く用いられてきた物質であるが,単結晶として成長・応用された歴史は極めて浅い.にもかかわらず,今や,発光・導波・センサーなど光エレクトロニクスのあらゆる分野で応用される可能性を持っている.このZnOの膜をサファイア基板上に気相成長させる場合,格子系が異なり,ミスマッチも大きいのになぜ単結晶層ができるのか,結晶性や電気的特性にどのような影響があるのかについて,結晶工学的観点から紹介し,現在残された問題点,発展の方向を探る.
