SiC pn接合型青色発光ダイオード
1991 年 60 巻 2 号 p. 159-162
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1991 年 60 巻 2 号 p. 159-162
6 H型SiCの青色発光ダイオード (LED) は,従来,発光色の長波長化という劣化現象があり,実用化が困難であったが,液相成長において,結晶成長面を {0001} 面から傾斜した面とするオフアングル基板の採用により,劣化現象が抑止でき, LEDの信頼性が大幅に高まった.また, n型層中に発光中心形成のために添加するA 1濃度を増加させても結晶性の低下を伴わず, LEDの高効率化が可能となった.その結果,最大光度20 mcd (ピーク波長475 nm, 順方向電流20 mA) の青色LEDを実現した.本報告では開発した青色LEDについて述べるとともに, 4 H型SlC結晶を用いた青紫色LEDについても紹介する.
