東北大学工学部精密工学科
1991 年 60 巻 3 号 p. 227-238
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マイクロマシン(微小機械)は,小さくてしかも高度な働きをする機械で,内部に運動機構をもつこともある.集積回路の製造技術として培われた微細加工技術によって作られ,電子回路,センサー,アクチュエーターを内蔵できる.マイクロマシーニングと呼ばれる微細加工技術や,マイクロマシンの例を示し,その特徴や課題について議論する.
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