新照明系を用いた高解像光リソグラフィー

斜入射照明と瞳面フィルターを用いた投影露光法(SSBL法)

抄録

投影露光法による光リソグラフィーにおいて,照明系の工夫(斜入射照明)とコントラスト改善手法を組み合わせることにより,解像性が大きく向上する.この方法の原理と微細化の可能性について述べる.