応用物理
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金属薄膜の表面凹凸と物性計測—表面ポラリトン特性を利用して—
福井 萬壽夫奥野 雄太郎
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1992 年 61 巻 12 号 p. 1231-1237

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抄録

金属薄膜は,ショットキーダイオード,金属超格子,光導波路,偏光子など種々のデバイスに利用されている.金属薄膜の表面凹凸は,金属一半導体界面や金属一金属界面などでの現象,たとえば,電子や光の散乱に大きく寄与する.また,金属薄膜の構造・欠陥・電子エネルギー帯・電子遷移などに関する情報は,金属薄膜の利用・応用を考える上で必要不可欠のものである.このような点を念頭において,表面ポラリトンの特性を用いて金属薄膜の表面凹凸や物性の情報を容易に得られることを解説する.

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© 社団法人 応用物理学会
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