応用物理
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表面分析法のための共通データ処理環境
吉原 一紘
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1992 年 61 巻 12 号 p. 1246-1250

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抄録

表面化学分析法では,電子線やX線により励起されたオージェ電子や光電子のスペクトルをいかに正確に測定できるかが基本である.このためには,何よりもまず信OT7強度とそのエネルギー値が正確に求められねばならないが,実際には分光器の特性を中心としたさまざまな要因が加わり,測定されるスペクトルは本来のスペクトルとは異なったものとなる.本論文では,VAMAS活動の一環として行われている,共通でデータ処理を行う環境や,スペクトルデータベースの構築計画について紹介し,分光器特性に影響を与える因子を明らかにして,スペクトルデータを共有化するための標準化手順を示す.

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© 社団法人 応用物理学会
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