大電流金属イオン源

抄録

材料に金属イオンを注入または照射し,材料表面に高機能薄膜などを形成するために用いられる大電流金属イオン源の開発が行われている.各種金属イオン源のうち,純粋金属試料を蒸気化し,放電によりプラズマを生成して,金属イオンビームを取り出す方式のイオン源について最近の開発状況を述べる.