応用物理
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多孔質シリコンの可視発光
越田 信義小山 英樹
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1992 年 61 巻 8 号 p. 805-808

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抄録

単結晶SiをHF溶液中で陽極酸化することにより形成される多孔質Si(PS)が室温で可視発光を示すことが,最近明らかになった.本稿では,PSの基本的性質,フォトルミネッセンスおよびエレクトロルミネッセンスの特性に関する研究の状況を報告する.また,考えられているいくつかの発光機構にっいて述べる.

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© 社団法人 応用物理学会
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