応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
ISSN-L : 0369-8009
反応性蒸着
飯島 賢二矢野 義彦寺嶋 孝仁坂東 尚周
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1993 年 62 巻 12 号 p. 1250-1251

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© 社団法人 応用物理学会
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