応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
反応性プラズマ中の衝突励起過程
田中 大ボーステン L.
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1993 年 62 巻 7 号 p. 695-698

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抄録

反応性プラズマでは,モデリングの手法および計測診断の最近の飛躍的な進展のおかげで,プラズマの発生,制御,そして必要な活性種の生成機構の解明に,原子・分子レベルでの新しい展開を見せている.逆に,原子物理学,量子化学に大きな刺激となり,今まで手に負えないと思われていた複雑な分子に挑戦するきっかけを与えてくれている.

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© 社団法人 応用物理学会
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