応用物理
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極高真空におけるアトムカウンティング技術
国分 清秀一村 信吾関根 重幸清水 肇
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1994 年 63 巻 12 号 p. 1239-1242

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抄録

レーザーを用いたアトムカウンティング技術による,極高真空計測と圧力の絶対計測の試みについて展望した.この方法は,レーザーで生成したイオンを計測システムによって1個1個計数するものである.ピコ秒パルス YAG レーザーを用いて, H2については10-11 Pa台, Xeでは10-12 Pa台の極高真空計測が可能になっている.また,イオン生成空間を静電レンズで MCP 上に拡大投影することによって,イオン生成空間でのイオン分布を可視化することに成功した,これによって,生成空間の大きさおよびイオン数の計測が可能になり,圧力の絶対計測への道が開けた.

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© 社団法人 応用物理学会
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