応用物理
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窒化ガリウム系短波長発光素子の最近の進歩
天野 浩赤崎 勇
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1994 年 63 巻 12 号 p. 1243-1247

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抄録

III 族窒化物による短波長発光ダイオードの成功は, (1) 低温堆積緩衝層によるサファイア上への結晶の格段の高品質化, (2) p 型結晶,およびpn接合の実現, (3) 高効率発光準位を形成する不純物を見いだした事, (4) その発光強度がp型化と同時に格段に増大する事を見いだした事,および (5) 混晶の利用により発光波長制御が可能になった事,などが基礎になっている.本稿では,これらの技術開発の歴史を紹介し,あわせて今後のIII族窒化物研究の方向について触れる.

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© 社団法人 応用物理学会
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